반도체 증착장비 4대천왕 : 유진테크(084370) - LPCVD, ALD

 

 

 

 

유진테크 - 반도체 증착장비 4대천왕 (느낌이블로그)

 

 

 

▼ 기업 소개 영상 먼저 보고 가자.

 

 

 

1. 증착장비 4대천왕 유진테크!

-. 유진테크는 반도체 박막을 형성하는 전공정 프로세스 장비를 개발, 생산하는 반도체 전공정 장비 업체로서 2006년 코스닥시장에 상장함.

 

1) 동사는 국내 대표적인 증착장비 제조사로 현대전자 출신의 엄평용 대표가 2000년 설립하였으며, 2006년 코스닥에 상장한 이래 반도체 박막증착 기술을 꾸준히 발전시켜왔음.

 

2) 현재 국내 대표 증착장비 업체로는 테스, 원익IPS, 주성엔지니어링, 유진테크가 있음.

 

 

3) 동사는 2017년까지 1300억원 대에 머무르던 매출액이 2018년 2000억원(2202억원)을 돌파하면서 이 분야 중견기업으로 자리매김함.

 

4) 또한 똥사는 반도체용 산업가스 충전, 제조 정제 및 판매를 사업으로 하는 유진테크머티리얼즈를 종속회사로 두고 있음.

 

5) 동사는 DRAM 외 NAND 쪽으로도 제품 라인업이 확대될 것이며, 삼전과 하닉 이외에 미국 종합반도체업체(IDM)로 고객사가 확대될 것임.

 

6) 동사는 삼성전자, SK하이닉스, 마이크론 등 유수의 글로벌 반도체 회사들과 제조장비 공급계약을 체결함.

 

7) 동사의 매출 구성은 LPCVD 장비 외 91.89%, 상품 및 기타 4.81% 등으로 이루어짐.

 

 

 

-. 유진테크는 기존 주력제품인 LPCVD(저압력 화학기상증착) 장비에서 차세대 증착기법인 ALD(원자층증착) 장비로 기술 심화를 꾀하고 있음.

 

1) 이는 삼성전자와 SK하이닉스가 EUV 공정을 확대하자 동사도 미세공정 부문에서 승부수를 던짐.

 

2) ALD(Atomic Layor Deposition)는 원자층 증착으로 반응원료를 각각 분리해 반응가스 간 화학반응으로 형성된 입자를 웨이퍼에 박막증착 하는 방식임.

 

3) ALD 장비에 사용되는 가스 종류는 CVD와 크게 다르지 않으나 박막도포성이 뛰어나 미세공정에 유리함.

 

4) 유진테크 중앙연구소는 2017년부터 차세대 ALD 장비 개발에 착수해 현재 DRAM Large Batch ALD와 NAND Mini Batch ALD 장비를 출시함.

 

▲ 유진테크의 다양한 반도체 장비 제품군들.

 

 

-. 유진테크는 DRAM 부문의 기존 주력 장비인 Single Type LP CVD와 Large Batch Type Thermal ALD를 하닉과 삼전에 공급 중임. 

 

1) 그동안 동사는 싱글형 ALD를 공급해왔으며, 배치형은 고객사의 퀄이 진행 중인데 싱글형과 배치형의 차이는 가동 시 다룰 수 있는 웨이퍼 수 차이임.

 

2) 싱글형은 웨이퍼 1개를 처리하지만, 배치형은 웨이퍼 50~100개를 한 번에 처리할 수 있으므로 속도와 효율에서 차이가 날 수밖에 없음.

 

3) 또한 ALD 장비는 과정 특성상 박막성장 속도가 느리므로 배치형 도입이 더욱 필요한 장비임.

 

4) 동사는 지난해 하이닉스와 Large Batch Type PE ALD의 인증을 완료하고 올해부터 매출이 본격화될 전망임.

 

5) 삼성전자도 마찬가지로 ALD의 인증을 올해 내 완료받고 내년부터 매출을 발생시킬 전망임.

 

6) 동사의 Large Batch Type LP CVD는 하닉으로부터 올해 중순경, 삼성전자로부터 내년 중순경 인증이 완료될 것으로 예상됨.

 

7) 동사의 자회사인 Eugene US의 QXP 업그레이드 장비 역시 내년 초부터 삼성전자 DRAM 향 Metal Layer용 ALD 으로 일본산 장비를 대체해 나가기 시작할 것임.

 

8) 올해 최대 고객사인 SK하이닉스의 발주 물량이 크게 늘어날 것으로 전망되며, 기존 주력 품목인 LPCVD와 더불어 Large Batch Thermal ALD 공급이 크게 늘어날 것임.

 

▲ ALD와 LPCVD의 차이점

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2. 비메모리 배치형 장비 확대와 고객사 다각화.

-. 유진테크의 향후 성장성을 더욱 강화시켜 주는 것은 비메모리 장비 부문에서 매출 발생을 가시화임.

 

1) 동사는 기존 해외 고객을 제외하고 대형 해외 고객에 대한 장비 출하를 개시하게 될 것으로 예상됨.

 

2) 동사는 2014년부터 차세대 장비로 어플라이드머트리얼즈가 독점적으로 공급하고 있던 로직용 SEG(Selective Epi. Growth)를 연구하였으나, 실제 매출로까지 이어지지는 못함.

 

3) 양산에는 실패하였지만 이때 습득한 배치 프로세스 장비에 대한 개발 노하우를 기반으로 Large Batch Thermal ALD 개발에 성공하였으며, 양산 라인 테스트도 거의 마무리됨.

 

4) 동사는 NAND 장비 부문에서는 Mini Batch Type ALD의 매출이 올해부터 본격적으로 발생할 예정이며, Large Batch Type LP CVD 장비 인증이 진행 중임.

 

5) 동사는 국내 고객사와 비메모리용 Mini Batch Type ALD의 인증을 올해 말까지 완료할 계획이며, 마이크론과 이미 NAND 용 Mini Batch Type ALD의 인증을 완료한 상황임.

 

6) 동사는 무난히 해외 ALD 시장에 진입할 수 있을 것으로 전망됨.

 

7) 특히 미국 마이크론사 공급에 성공하면 국내 전공정 증착장비 기업 중 최초의 사례임.

 

8) 동사의 비메모리 장비 출하 확대 및 해외 고객사 추가 확보가 성공할 경우, 내년 실적은 올해 이후로도 파멸적으로 개선될 것임.

 

9) QXP 장비는 내년부터 DRAM 뿐 아니라 3D NAND 부문에도 적용될 가능성이 높을 것으로 예상됨.

 

유진테크, 비메모리·해외 고객 확대로 성장성 강화…목표가↑-하이 - 머니투데이

 

 

-. 일본의 반도체 소재 수출 규제로 인한 반도체 소부장 국산화 프로젝트는 국산 장비 및 소재 양산 테스트를 적극적으로 진행시킴.

 

1) 현재까지 국내 장비 업체들 중에서는 유진테크가 가장 가시적인 성과를 내고 있다는 점도 동사의 기술력을 방증함.

 

2) 배치형 증착장비는 일본 도쿄일렉트론이 시장을 100% 점유하고 있으며, 향후 문제가 재발될 수 있는 부분임.

 

3) 국내 반도체 업계의 탈일본이 여전히 진행되는 가운데, 유진테크의 배치형 공급은 긍정 요소로 작용함.

‘극일 계속’ 유진테크, 배치형 ALD 공급 예정…SK ‘인증’ 삼성 ‘테스트’

 

 

 

 

3. 올해 실적은 역시 Historical High!

-. 유진테크의 1Q21 매출과 영익이 1,008억(QoQ +94%)과 308억(QoQ +380%)을 기록하며 사상 최대 실적을 경신함.

 

1) 동사의 1Q21 실적 대폭 개선의 원인은 하닉의 M16 라인 투자 개시와 ALD 장비 매출이 가시화된 것으로 예상됨.

 

2) M16 라인 초기 투자 규모가 당초 예상보다 적은 수준이었음에도 동사가 사상 최대 실적을 올릴 수 있었던 점은 주력 제품인 LP CVD 적용 공정수가 대폭 확대되어 라인내 장비 투입량이 크게 증가했기 때문임.

 

3) 또한 1Q21 에는 동사의 Large Batch Type Thermal ALD가 드디어 국내 고객사들의 인증을 완료하고 매출이 본격화되기 시작한 것으로 보임.

 

 

-. 4Q21 부터는 국내 고객사들의 반도체 장비 투자가 1Q21 보다 큰 규모로 시작될 전망임.

 

1) 하닉은 M16 라인에 대한 나머지 추가 투자를 진행할 예정임.

 

2) 삼전은 1A DRAM 및 7 세대 NAND 양산을 위한 투자를 본격화할 전망임.

 

3) 이러한 경우 동사 LP CVD, Large Batch Type Thermal ALD, Large Batch Type PE ALD, Mini Batch Type ALD, QXP 등 모든 장비의 매출이 대폭 증가할 것으로 예상됨.

 

4) 4Q21 이후의 분기 실적은 1Q21 실적을 대폭 상회할 가능성이 높음.

신한금투 "유진테크, 실적 증가율 가팔라…목표가↑"

 

 

-. 올해 유진테크의 연간 매출과 영익은 3,718억, 1,012억을 기록하여 전년 대비 84%, 354% 증가할 것으로 예상됨.

 

1) 올해부터 삼성전자가 동사 매출에 본격적으로 기여하는 동시에, DRAM 향 LPCVD에서 배치형 ALD, QXP 및 NAND 용  ALD, QXP 등으로 매출 비중이 크게 확대될 예정임.

 

2) 내년에는 기존 고객사 외 해외 초대형 종합 반도체 회사가 동사의 고객으로 추가됨.

 

3) 동사의 매출 발생 장비의 종류도 DRAM 용 Large Batch Type LP CVD와 비메모리용 Mini Batch Type ALD 가 추가되어 큰폭의 실적 견인이 예상됨.

 

4) 이러한 고객사 및 제품 다변화 요소는 고객사 투자 증가와 함께 동사의 내년 실적도 크게 견인시킬 것으로 예상됨.

 

신한금투“유진테크, 올해 사상 최대 실적 전망…목표가↑”

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4. 느낌이의 투자 의견 종합

 

-. 일본의 배치 ALD 장비를 대체하여 동사의 제품 도입이 증가할 것으로 예상되는 가운데, 기존 주력 제품인 LPCVD 장비도 적용되는 레이어가 늘어남에 따라 고객사의 Capex 확대에 따른 추가 매출 향상이 예상됨.

 

-. 동사의 ALD 장비 매출 본격화에 이은 추가 상승 모멘텀은 국내외 고객에 대한 비메모리 장비 납품 가능성이며, 국내외 대형 고객사의 비메모리 투자를 기반으로 동사의 중장기 성장성은 높을 것으로 예상됨.

 

-. 꾸준히 상승하고있는 동사의 실적을 기반으로 올해 하반기부터 내년 상반기까지 유진테크 역사에 있어 중요한 변곡점으로 기록될 것임.

 

 

매수의견 : ★★★★★

 

 

 

 

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